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　   石墨舟裝片房：用于太陽能行業(yè)與PECVD承載車配套、裝取硅片、配制中效及高速率過濾器，確保吹出的空氣達(dá)到凈化要求。

　　石墨舟工作原理：

　　空氣通過高速率過濾后，阻尼層均壓，使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片工作區(qū)，從而保證了工作區(qū)內(nèi)達(dá)到工藝要求的潔凈度，操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。

　　石墨舟主要特點(diǎn)：

　　1、能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車定位；

　　2、采用不銹鋼制造，整機(jī)結(jié)構(gòu)堅固可靠；

　　3、采用GK系列高速率空氣過濾器3只；

　　4、PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度；

　　5、凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。

　　6、保證了工作區(qū)內(nèi)達(dá)到工藝要求的潔凈度100級。